近日，在重慶力為康智能裝備有限公司檢測車間，北京理工大學重慶微電子研究院（以下簡稱“北理微電院”）彭喆博士正調試參數(shù)，光譜儀顯示屏上實時跳動著精準的檢測數(shù)據(jù)，經(jīng)過嚴格測試，北理微電院自主研發(fā)的FTS-DT-101型微型近紅外光譜儀各項性能指標均達到或超過預期，標志著該產(chǎn)品順利完成批量生產(chǎn)并交付。

▲FTS-DT-101型微型近紅外光譜儀測試交付現(xiàn)場

FTS-DT-101型微型近紅外光譜儀由北理微電院彭喆博士牽頭組建專業(yè)研發(fā)團隊研發(fā)。該產(chǎn)品利用MEMS電熱微鏡技術，成功規(guī)避對電機的依賴，采用自主研發(fā)、生產(chǎn)的MEMS微鏡，打破國內光譜儀核心部件技術瓶頸，解決微鏡熱響應時間、調制精度、驅動控制等系統(tǒng)問題，填補了國內技術空白。

▲微型近紅外光譜儀產(chǎn)品

▲超大位移電熱MEMS微鏡

“我們先后突破MEMS微鏡熱響應控制、光學系統(tǒng)微型化、光電轉換電路噪聲抑制等多項關鍵技術瓶頸。”北理微電院相關負責人介紹，產(chǎn)品研發(fā)過程中，研發(fā)團隊完成10余輪設計迭代，測試數(shù)據(jù)超500組，僅用時7個月，成功實現(xiàn)了該產(chǎn)品從設計研發(fā)到量產(chǎn)交付，創(chuàng)造了“北理速度”。

▲北理微電院FTS-DT-101型微型近紅外光譜儀研發(fā)團隊

據(jù)了解，憑借其技術創(chuàng)新性，該產(chǎn)品已入選2024西部（重慶）科學城十大科技創(chuàng)新成果。產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化應用，將有效提升我國在精密儀器制造領域的技術水平，為相關行業(yè)提供重要的技術支撐。